でんしけんびきょう【電子顕微鏡】

電子の流れ（電子線）を用いて試料(しりょう）の拡大(かくだい）した像(ぞう）を得(え）る装置(そうち）。拡大(かくだい）できる倍率(ばいりつ）は，電子線の波長が光にくらべてひじょうに短いため，光学顕微鏡(けんびきょう）よりはるかに大きく，100万倍をこえる。試料(しりょう）を透過(とうか）した電子線を電子レンズを用いて結像(けつぞう）させる透過型(とうかがた），試料(しりょう）面で反射(はんしゃ）した電子線を結像(けつぞう）させる反射型(はんしゃがた），加熱(かねつ）などによって試料(しりょう）面から放出される電子を用いて結像(けつぞう）させる表面放出型(がた）（電界イオン顕微鏡(けんびきょう）），電子線で試料(しりょう）面を走査(そうさ）し表面から放出される電子を用いて結像(けつぞう）する走査型(そうさがた）などがある。